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纳米级CMOS超大规模集成电路可制造性设计


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纳米级CMOS超大规模集成电路可制造性设计
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  • 书号:9787030400345
    作者:(美)Sandip Kundu等著;王志华译
  • 外文书名:
  • 装帧:平装
    开本:B5
  • 页数:280
    字数:260
    语种:
  • 出版社:科学出版社
    出版时间:2014/4/3
  • 所属分类:
  • 定价: ¥58.00元
    售价: ¥34.80元
  • 图书介质:
    电子书

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本书的内容包括:CMOSVLSI电路设计的技术趋势;半导体制造技术;光刻技术;工艺和器件的扰动和缺陷分析与建模;面向可制造性的物理设计技术;测量、制造缺陷和缺陷提取;缺陷影响的建模和合格率提高技术;物理设计和可靠性;DFM工具和DFM方法。
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