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本书是先进光学技术丛书之9。书中以光学技术为主干,全面阐述了信息技术中所必需的光学、力学、精密机械、电子学等领域的基础知识及其相互融合产生的光微机械电子学技术。
书中主要阐述光微机械电子学的由来、技术组成,信息设备中的光束强弱控制,光束位置间断与连续跟踪控制、速度控制技术,光微机械电子学中的基础光学、基础力学等内容。
书中列举了大量光微机械电子学的卓越技术成就,涉及到微领域内容诸多的测量传感、驱动控制、系统制造等。
本书可供从事测量技术与仪器、微机技术、纳米技术研究的大学生、研究生及科技工作者阅读参考。
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