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微米/纳米尺度传热学


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微米/纳米尺度传热学
  • 书号:7030088905
    作者:刘静
  • 外文书名:
  • 装帧:平装
    开本:大32开
  • 页数:368
    字数:292000
    语种:中文
  • 出版社:科学出版社
    出版时间:2001-03-22
  • 所属分类:TN4 微电子学、集成电路(IC)
  • 定价: ¥23.00元
    售价: ¥18.17元
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本书系统阐述当代最新的前沿学科之一——微米/纳米尺度传热学的研究意义、学科内容及其相应的基本理论与实验研究方法,并归纳出了该领域内若干可供探索的途径和新方向,特别对微米/纳米尺度热科学的工程应用也作了必要的介绍。本书可供热科学、物理、电子、机械、器件、材料、化工、生物技术与医学工程等领域的研究人员、工程师以及大专院校有关专业师生、研究生参考。
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    前言?主要符号表?
    特征数?
    第1章 绪论
    §1.1导言?
    §1.2一些典型微热器件及其相应的热现象?
    1.2.1薄膜中的热传导?
    1.2.2颗粒和点结构?
    1.2.3窄线及量子阱?
    1.2.4计算机元器件及其传热问题?
    1.2.5微型换热器?
    1.2.6微型燃气透平用燃烧室
    1.2.7微尺度热控制
    1.2.8微尺度生物传热?
    1.2.9分子机器
    §1.3微器件中传热问题的尺寸效应
    §1.4微尺度传热学中的一些分析方法
    §1.5微尺度传热学的一些研究进展?
    §1.6小结?
    参考文献
    第2章 微电子机械器件的典型制造方法
    §2.1导言
    §2.2典型微电子机械加工方法
    §2.3现行能加工出的有关典型微结构
    参考文献
    第3章 微米/纳米尺度传热学的实验研究方法
    §3.1导言
    §3.2纳米尺度下的温度测量?
    3.2.1概述
    3.2.2扫描热显微镜?
    3.2.3SThM探针的纳米加工及校正?
    3.2.4扫描热显微镜的应用
    3.2.5新型扫描热显微镜的发展
    3.2.6测量瞬态温度的原子力显微镜
    3.2.7观察分子水平上生物样品的低温原子力显微镜?
    §3.3温度的非接触光学测量方法
    3.3.1材料光反射率的温度依赖特性
    3.3.2差式温度测量技术
    §3.4超快速温度测量?
    3.4.1概述?
    3.4.2瞬态反射率测量方法?
    3.4.3双光束皮秒连续测量光谱的技术
    §3.5微尺度材料热物性的测量方法
    3.5.1自由薄膜的热导率及热扩散率的测量?
    3.5.2平行及垂直于薄膜面的热扩散率的测量方法
    3.5.3薄膜热导率的非接触测量方法
    §3.6微传热与流动传感器中的尺寸效应
    参考文献
    第4章 微米/纳米尺度传热学中的基本分析方法
    §4.1导言?
    §4.2Boltzmann 输运理论
    4.2.1概述?
    4.2.2Boltzmann方程的简单推导?
    4.2.3碰撞间隙理论
    4.2.4Boltzmann分布的场效应及碰撞效应?
    4.2.5基于Boltzmann输运理论导出的传热和流动守恒方程?
    §4.3分子动力学理论
    4.3.1概述?
    4.3.2硬球分子动力学
    4.3.3连续势分子动力学
    4.3.4物质输运系数及某些热物理量的计算
    4.3.5分子动力学模拟方法的某些应用
    §4.4计算流体流动问题的直接Monte-Carlo模拟方法
    4.4.1概述?
    4.4.2直接Monte-Carlo 模拟方法
    §4.5量子分子动力学方法
    4.5.1概述
    4.5.2量子分子动力学计算方法?
    参考文献
    第5章 微尺度器件中的流体力学问题
    §5.1导言
    §5.2一个典型微尺度流动现象
    §5.3流体模型区域划分
    §5.4流体力学连续模型
    §5.5流体可压缩性
    §5.6流体边界条件?
    §5.7基于分子的流动模型?
    §5.8液体流动问题?
    §5.9表面现象
    §5.10应用微流体力学?
    参考文献
    第6章 微米/纳米介质中的热传导
    §6.1导言
    §6.2Fourier定律的适用性及其替代方法
    §6.3热传导的边界散射效应
    §6.4薄膜热传导的Casimir极限
    §6.5Matthiessen定律
    §6.6基于Boltzmann 方程的广义热导率?
    6.6.1Boltzmann 方程的基本解?
    6.6.2热导率:WiedemannFrantz定律
    §6.7热导率的尺寸效应
    §6.8热导率尺寸效应的微结构物理机制
    §6.9薄膜比热容的尺寸效应
    §6.10薄膜-基底界面间的热阻问题?
    §6.11亚微米半导体器件中的热量产生与输运
    §6.12跨越电子隧道的量子热量输运?
    §6.13微尺度传热学中的非Fourier效应?
    §6.14热学-力学相互作用方程
    参考文献
    第7章 微尺度对流传热?
    §7.1导言
    §7.2一些典型的微尺度对流传热现象
    §7.3微槽/微管内的单相对流换热
    §7.4微尺度气体流动和传热的可压缩性及稀薄效应
    §7.5热对流边界效应?
    §7.6微尺度流动和传热中的热导率效应?
    §7.7微槽热输运问题的数值模拟研究
    §7.8影响微槽流体传热和流动的外部效应
    7.8.1流体物性效应
    7.8.2电水动力学效应
    7.8.3对流换热边界的界面效应?
    §7.9微槽内射流传热
    §7.10微槽内的沸腾换热及微尺度换热器的优化问题
    §7.11燃烧颗粒的微尺度对流换热问题?
    参考文献
    第8章 微尺度相变传热问题?
    §8.1导言
    §8.2过热气体内微蒸发液滴的传热问题
    §8.3微尺度滴状冷凝问题?
    §8.4微槽内的沸腾临界热流及压降?
    §8.5激光加工过程中的熔化现象?
    参考文献
    第9章 微尺度辐射现象
    §9.1导言
    §9.2热工程中的辐射类型
    §9.3空间微尺度内的辐射区域划分
    §9.4时间微尺度下的辐射现象?
    §9.5结构微尺度内的辐射现象?
    §9.6薄膜辐射性质的厚度依赖特性
    §9.7材料表面反射率的微结构依赖特性
    参考文献
    第10章 微尺度非平衡传热问题及某些热现象中的尺寸效应
    §10.1导言?
    §10.2激光加热过程中的非平衡传热问题
    §10.3液体受高强度脉冲加热时的饱和吸收问题
    §10.4纳米粒子周围的非平衡热传导?
    §10.5薄膜中的热应力
    §10.6超导薄膜临界温度的尺寸效应
    参考文献
    第11章 微尺度生物传热传质问题
    §11.1导言
    §11.2常温或高温情况下的微尺度生物传热传质问题
    §11.3低温下的微尺度生物传热传质问题?
    §11.4生物体膜的辐射问题?
    §11.5生物芯片中的传热与流动问题
    §11.6生物热反应器
    §11.7微型生物热医学器件
    §11.8研究微尺度生物传热问题的多模式能量耦合模型
    11.8.1集中参数系统中的多模式能量效应?
    11.8.2分布参数系统内的多能量耦合传热模型
    §11.9小结参考文献
    附录:简写及英汉对照
    索引
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