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形状记忆合金（SMAs,ShapeMemoryAlloys）是一种在经过严重变形后能够通过加热恢复原来形状的材料。这种材料具有很多优良的特性，如具有高力体积比，这使它在受热或冷却时能够产生很大的应变力，另外它还具有超弹力、高阻尼、良好的耐化学腐蚀性和生物兼容性等性能。SMAs的这些独特的性能引起了人们对它作为智能和功能材料应用潜能的极大关注。最近， SMAs薄膜已被认为是微机电机械系统（MEMS）和生物器件的一种新型的极具发展潜力的高性能材料。 在各种SMAS薄膜中，TiNi薄膜是最具发展潜能的一种。本书介绍了TiNi形状记忆合金薄膜的性能、制备及特征，重点关注最新技术的发展及其在MEMS和生物器件中的应用。本书既涵盖了该学科的基本技术和理论，适合于初学者阅读；同时又介绍如薄膜沉积、后处理、薄膜的实际应用等知识，因此它又适合于有一定基础的学者阅读。
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