本书是OHM光通信/光电子系列之一。全书共分12章,涉及集成广路的基础理论、设计及制作方法等,内容包括光波导及其调制理论、光波导制作技术及检测技术、集成光路的精细加工技术、集成光路中使用的有源和无源光波导器件,以及集成光路实例等,最后还阐述了集成光路的今后发展趋势。
本书语言通俗易懂、叙述深入浅出、图文并茂;除外,作为本书特点之一,在书末列出了丰富的相关的参考文献,读者通过它可以更多地了解相关知识。
本书可作为大学光电子相关专业本科生、研究生的教材,或者科技人员的参考用书。
样章试读
目录
- 第1章 集成光路概述
1.1 定义
1.2 发展
1.3 特点
1.4 制作集成光路所需的技术
1.5 本书的结构
第2章 光波导理论
2.1 光波导概述
2.2 折射率突变型二维光波导
2.3 折射率渐变型二维光波导
2.4 三维光波导
2.5 三维光波导的实例
2.6 波导光的散射与传输损耗
第3章 光波导的模耦合理论
3.1 模耦合理论的基本概念
3.2 模耦合的一般理论
第4章 光波导结构中的光栅理论
4.1 光栅的分类
4.2 光栅耦合
4.3 共线耦合
4.4 共面耦合
4.5 导模-辐射模耦合
第5章 光波导的调制
5·1 调制方法的分类
5·2 利用电光效应的调制
5·3 利用声光效应的调制
5·4 利用磁光效应的调制
5·5 利用热光效应的调制
5·6 利用非线性光学效应的调制
附录 典型的光学常数
第6章 光波导的材料与制作技术
6.1 典型材料与制作技术
6.2 高分子薄膜波导
6.3 玻璃波导
6.4 非晶质硫硒碲化合物薄膜波导
6.5 LiNbO3波导
6.6 其他波导
6.7 薄膜淀积型波导用的SiO2/Si衬底
附录 各种波导的特性与光学材料的折射率
第7章 集成光路的精细加工技术
7.1 精细加工工艺
7.2 图形形成技术
7.3 加工技术
7.4 三维光波导的制作方法
7.5 光栅的制作方法
附录1 用照相缩小法制作光掩模
附录2 用激光束直接绘图法制作光波导图形
第8章 光波导技术与波导的评价
8.1 概述
8.2 波导光的激励方法
8.3 传输常数的测量方法与波导参数的评价
8.4 传输损耗与散射的测量方法
第9章 无源光波导器件
9.1 概述
9.2 光路变换器
9.3 分配器
9.4 偏振器与模分离器
9.5 波长分波器与合波器
9.6 透镜
第10章 有源光波导器件
10.1 概述
10.2 电光调制器
10.3 声光控制器件
10.4 磁光调制器
10.5 热光调制器
10.6 二次非线性光学效应器件
10.7 三次非线性光学效应器件(光双稳态器件)
10.8 波导激光与波导型放大器件
第11章 集成光路实例
11.1 概述
11.2 宽带光调制器
11.3 光学开关、光学开关阵列与多重光波长
11.4 频谱分析器
11.5 卷积器与相关器
11.6 高密度信息读取器(光盘拾波器)
11.7 连接器
11.8 集成光路传感器
第12章 集成光路今后的课题
12.1 混合集成光路存在的课题
12.2 光电子集成回路
12.3 集成光路的发展方向
参考文献