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内容简介
周期表第三、四、五、六族元素的挥发性氢化物广泛应用于高纯元素的制备和半导体外延层生长及掺杂等方面.本书第一至五章介绍了这些氢化物的性质、制备、提纯、分析方法和杂质的种类及其来源.第六、七章介绍超纯氨和超纯卤化氢的性质、制备、提纯以及分析方法.
本书可供从事高纯元素制备和半导体材料、器件研制的科技人员及大专院校有关专业师生阅读.
目录
- 前言
第一章 氢化物的结构和物理性质
一、共价键氢化物的分子结构
二、氢化物的性质
(一)氢化物的饱和蒸气压
(二)沸点
(三)熔点
(四)熔化热和相变热
(五)气化热
(六)密度
(七)表面张力
(八)氢化物在液态时的粘度
(九)氢化物在气态时的粘度
(十)氢化物分子间相互作用的势能
(十一)氢化物和氢的混合物的热扩散常数
(十二)混合氢化物的热扩散常数
(十三)不同类型氢化物分子间相互作用势的作用力常数
(十四)临界温度、临界压力和临界体积
(十五)溶解度
(十六)氢化物的热力学函数
第二章 氢化物的化学性质
一、热稳定性
(一)由元素形成氢化物反应的平衡常数
(二)氢化物的热分解反应动力学
(三)杂质对氢化物热分解反应速度的影响
二、氢化物和氧或水的作用
第三章 氢化物的制备法
一、乙硼烷
二、硅烷
三、锗烷
四、锡烷
五、磷烷
六、砷烷
七、锑烷
八、硫化氢
九、硒化氢
十、碲化氢
第四章 氢化物的分析
一、气相色谱分析法
(一)乙硼烷
(二)硅烷、锗烷和锡烷
(三)砷烷和磷烷
(四)硫化氢
二、质谱分析法
(一)质谱图
(二)单一同位素质谱
(三)质谱定性分析
(四)质谱定量分析
三、氢化物中杂质的种类及其来源
第五章 氢化物的提纯法
一、化学法
二、吸附法
三、低温蒸馏法和低温精馏法
(一)统计法计算稀溶液中的热力学活度系数
(二)液相和蒸气相平衡的测定法
(三)氢化物系溶液中的液相和蒸气相的平衡
(四)氢化物系稀溶液电液相和蒸气相的平衡
四、分馏法纯制氢化物
五、低温精馏法纯制超纯氢化物
(一)精馏柱法测定液相和蒸气相的平衡
(二)微量杂质浓缩分析法
(三)低温精馏柱
(四)低温精馏法
六、萃取精馏法纯制氢化物
第六章 超纯氨的制备和分析
一、氨的物理化学性质
二、氨的分析
三、氨的提纯
第七章 超纯卤化氢的制备和分析
一、卤化氢的物理化学性质
二、卤化氢的分析
三、卤化氢的提纯
参考文献