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本书是21世纪大学新型参考教材系列之一，书中主要讲解等离子体中的微观运动，等离子体的宏观性质，气体放电与等离子体的形成，等离子体的生成方法，等离子体在电子、环境工程中的应用等。
本书作者均为工作在专业教学、科研第一线的专家教授。书中内容新颖、重点突出，文字叙述深入浅出、流畅易懂。书中穿插有“篇外话”可作为正文内容的补充说明。各章末均有练习题，书后附有练习题解答。
本书可供大学生、硕士生及科技工作者阅读参考。

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• 1 等离子体电子学的学习方法
  1.1等离子体概述
  1.2等离子体的各种性质
  1.3等离子体的应用
  1.4本书的构成
  练习题
  2 等离子体中的微观运动
  2.1单个粒子的运动
  2.2粒子间的碰撞
  2.3弹性碰撞中的能量损失
  2.4原子的激发与电离
  2.5分子的激发与离解、电离
  练习题
  3 等离子体的宏观性质
  3.1分布函数与平均量
  3.2等离子体基本方程
  3.3等离子体的电中性
  3.4粒子流动与密度分布
  3.5等离子体鞘层
  3.6能量平衡与粒子数平衡
  练习题
  4 气体放电与等离子体的形成
  4.1气体的绝缘击穿——汤生的实验和理论
  4.2放电起始电压——帕邢定律
  4.3气体放电中的等离子体状态
  4.4汤生理论的局限性
  练习题
  5 等离子体的生成方法Ⅰ——直流放电
  5.1各种放电方法与放电模式
  5.2辉光放电与低温等离子体
  5.3电弧放电与热等离子体
  5.4电晕放电与高气压低温等离子体
  5.5磁控管放电
  练习题
  6 等离子体的生成方法Ⅱ——高频放电、微波放电
  6.1等离子体生成与天线耦合
  6.2平行板加RF电压——电容耦合等离子体
  6.3线圈通RF电流——感应耦合等离子体
  6.4等离子体中的波
  6.5强电波照射——表面波等离子体
  6.6使用磁场中的波——ECR等离子体和螺旋波等离子体
  练习题
  7 等离子体在电子、环境工程中的应用
  7.1LSI制造工艺中的等离子体刻蚀法
  7.2非晶硅薄膜的等离子体CVD制备法
  7.3等离子体显示器件的工作原理
  7.4利用等离子体的环境改善技术
  练习题
  练习题解答
  参考文献
  附录
  篇外话
  “等离子体”名称的由来
  原子的内部状态和光谱标记
  朗缪尔探针
  流注的形成
  表面磁场对等离子体的约束作用
  朗道衰减与回旋衰减
  用强光生成等离子体