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半导体的检测与分析


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半导体的检测与分析
  • 书号：
    作者：
  • 外文书名：
  • 装帧：
    开本：
  • 页数：0
    字数：534000
    语种：
  • 出版社：科学出版社
    出版时间：
  • 所属分类：TN3 半导体技术
  • 定价： ￥3.70元
    售价： ￥2.92元
  • 图书介质:
    纸质书

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内容简介
本书比较全面地介绍半导体科研、生产中最常用的各种检测和分析方法，介绍了各种方法的原理、实验技术和在半导体中的具体应用．全书共分十五章，包括半导体单晶定向，半导体晶体缺陷的金相观察，X射线形貌技术，离子束分析，离子探针分析，俄歇电子能谱，扫描电子显微镜，电子探针，透射电子显微镜，半导体电学测量、光学测量，火花源质谱分析，原子吸收分光光度分析，高纯气体分析和高频电感耦合等离子体发射光谱等．为了说明各种检测方法的应用，书中根据实践经验列举了一些实例，同时有些方法在章末还附有一些必要的常用数据，以便读者在实际工作中引用．
本书对象为从事半导体科研和生产的科研人员和工程技术人员，也可供大专院校有关专业师生参考．
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目录

  • 前言
    第一章 半导体单晶定向
    §1 半导体晶体结构
    §2 半导体单晶体的晶向测定
    §3 电子计算机定向
    附录
    第二章 半导体晶体缺陷的金相观察
    §1 微分干涉相衬显微镜
    §2 金相面的制备
    §3 金相观察技术
    第三章 X射线形貌技术
    §1 X射线动力学理论基础
    §2 实验技术
    §3 形貌像的铨释
    §4 展望
    第四章 离子束分析
    §1 背散射表面分析
    §2 沟道效应及其在半导体中的应用
    §3 核反应分析
    §4 离子感生X射线分析
    附录
    第五章 离子探针分析
    §1 引言
    §2 仪器工作原理
    §3 分析原理和方法
    §4 应用
    第六章 俄歇电子能谱及其在半导体中的应用
    §1 俄歇过程原理和能谱特征
    §2 实验仪器
    §3 实验方法
    §4 AES在半导体中的应用
    §5 展望
    附录
    第七章 扫描电子显微镜的原理及其在半导体中的应用
    §1 扫描电子显微镜的原理和构造
    §2 扫描电子显微镜在半导体中的应用
    第八章 电子探针及其在半导体中的应用
    §1 高能电子束与半导体相互作用时的若干现象
    §2 仪器简介
    §3 电子探针定量分析
    §4 电子探针在半导体上的若干应用
    附录
    第九章 透射电子显微镜及其在分析半导体晶体缺陷上的应用
    §1 透射电子显微镜的原理
    §2 透射电子显微镜的基本构造
    §3 衍射图的形成和分析
    §4 TEM像衬度
    §5 衬度计算的某些结论
    §6 其它的TEM技术
    附录
    第十章 半导体电学测量
    §1 电阻率测量
    §2 C-V测量技术
    §3 结电容技术
    §4 霍尔测量
    §5 少数载流子寿命的测量
    附录
    第十一章 半导体光学测量
    §1 几种光学测量方法
    §2 光致发光分析方法
    §3 红外吸收法测定硅中的氧、碳含量
    第十二章 火花源质谱分析
    §1 原理
    §2 应用举例
    第十三章 原子吸收分光光度分析及其在半导体工艺研究中的应用
    §1 原子吸收分光光度分析的理论基础
    §2 原子吸收分光光度分析的仪器设备
    §3 原子吸收分光光度分析的干扰现象
    §4 灵敏度与精密度
    §5 原子吸收分光光度分析的操作
    §6 应用
    附录
    第十四章 高纯气体的分析
    §1 半导体工业生产和研究对高纯气体的要求
    §2 高纯气体的分析
    §3 气体中灰尘的测量
    §4 高纯气体分析时必须注意的问题
    §5 低浓度标准气体的配制
    附录
    第十五章 高频电感耦合等离子体发射光谱
    §1 高频电感耦合等离子体
    §2 高频电感耦合等离子体光源设备
    §3 高频电感耦合等离子体的分析性能
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