这本自成体系的综合教科书主要介绍软X射线与极紫外(EUV)辐射的基本特性，讨论它何在多个领域的广泛应用，包括用于半导体芯片制备的极紫外光刻和生物样品的软X射线显微。
本书由辐射、散射、波的传播、衍射、相干等相关的基本原理的阐述作为开始，然后讨论了与软X射线与极紫外辐射相关的许多现象和应用。为了满足尽可能多的读者的需要，本书的每一章都从重要结果和概念的总结开始，紧接着是几乎没有数学公式的引言，随后是所讨论主题的详细数学演绎。本书的内容涉及极紫外光刻、生物显微术、光谱显微术、极紫外天文学、同步辐射、高温高密等离子体物理以及软X射线激光。
本书还提供了大量有用的参考资料，如电子束缚能、特征发射线和光吸收截面的数据等。本书对于在工程、物理、化学和生命科学等领域工作的研究生和专业人员是非常有用的。同时它对于实际从事半导体制备和材料科学的工程师也是不可缺少的参考书。
样章试读
目录
- 第一章 引言
1.1 电磁波谱中的软X射线和极紫外波段
1.2 基本的吸收和发射过程
1.3 原子能级和允许跃迁
1.4 电磁辐射的散射、衍射和折射
参考文献
第二章 极紫外和软x射线波段的辐射和散射
2.1 麦克斯韦方程组和波动方程
2.2 散射场的计算
2.3 辐射功率和坡印亭定理
2.4 散射截面
2.5 自由电子的散射
2.6 束缚电子的散射
2.7 多电子原子的散射
参考文献
第三章 极紫外和软X射线波段电磁波的传播和折射率
3.1 波动方程和折射率
3.2 波传播的位相变化和吸收
3.3 界面上的反射和折射
3.4 软X射线与极紫外辐射的全反射
3.5 界面的反射系数
3.6 布儒斯特角
3.7 近临界角附近场对有损耗介质的渗透
3.8 δ和β的决定：Kramers-Kronig关系
3.9 掠人射光学的应用
3.10 周期结构增强的反射率
参考文献
第四章 多层干涉膜
4.1 引言
4.2 散射辐射的相长干涉
4.3 多层镜反射的计算模型
4.4 多层膜的制备
4.5 多层膜光学的应用
参考文献
第五章 同步辐射
5.1引言5.2 偏转磁铁辐射的特性
5.3 波荡器辐射的特性
5.4 波荡器辐射：辐射功率、亮度和谐波的计算
5.5 磁偏转参数K对谐振运动的影响
5.6 从波荡器辐射转变到扭摆器辐射
5.7 扭摆器辐射功率与通量
5.8 飞秒脉冲的产生
参考文献
第六章 高温高密等离子体物理
6.1引言
6.2 等离子体中的短程和长程相互作用
6.3 描述等离子体的基本参数
6.4 等离子体的微观运动学和流体描述
6.5 数值模拟
6.6 密度梯度：紫外和极紫外探针
6.7 高温高密等离子体的X射线发射
6.8 飞秒激光脉冲的高次谐波产生
参考文献
第七章 极紫外与软X射线激光
7.1 基本过程
7.2 增益
7.3 用复合机制在类氢碳离子中产生激光
7.4 碰撞泵浦类氖和类镍离子产生激光
7.5 小型极紫外激光器
参考文献
第八章 短波长相干
8.1 时间相干性和空间相干性的概念
8.2 需要相干性的一些例子
8.3 空间滤波和谱滤波
8.4 波荡器辐射的空间滤波和时间滤波
8.5 空间相干的极紫外和软X射线激光
8.6 范西泰特-泽尼克定理
8.7 用短波长产生高反衬度条纹的例子
参考文献
第九章 衍射光学与软X射线显微术
9.1 引言
9.2 菲涅耳波带片透镜
9.3 针孔与波带片对辐射的衍射
9.4 波带片透镜的空间分辨率
9.5 焦深与谱带宽度
9.6 超过瑞利极限的空间分辨：有效的角照明轮廓
9.7 高分辨率软X射线显微术
9.8 在生命科学上的应用
9.9 在物理学上的应用：用于材料科学和表面科学、空间分辨率低于
9.10 波带片制作
参考文献
第十章 极紫外与X射线光刻
10.1 深紫外(DUV)及更短波长的光刻
10.2 极紫外光刻
10.3 X射线贴近式光刻
参考文献
附录
A 单位与物理常数
参考文献
B 电子束缚能、K壳层和L壳层的主发射线以及俄歇电子能
参考文献
C 原子散射因子、原子吸收系数和亚壳层光电离截面
参考文献
D 数学与矢量关系
参考文献
E k、ω空间的一些积分公式
F洛伦兹时空变换参考文献
京公网安备 11010102004214号